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無需對合光軸的凹槽型.

使用了4CH通道的法蘭盤，節省了真空槽的空間。 ? 一次性安裝光纖，大幅度削減了工時數（4CH通道法蘭盤）。 ? 空氣側光纖兩端可自由切割，能輕松抽回。 ? 選用側光纖兩端可自由切割，能輕松抽回。 ? 先用螺釘緊固型的1CH單通道法蘭盤。 ? 在高溫環境下使用時，可選用耐高溫真空光纖。

通過結束帶裝置和導管附著可以簡單地安裝。 ? 在易談的價格下裝置,可為設備改善時的成本降低作出貢獻。 ? 厚10mm的薄形管。由于可以密封安裝，所以可以檢測出Z小4mm的位差。 ? 即使在可然性氣體中也可使用。

采用了耐藥品、耐油性都很優秀的特氟龍(PFA) ? 能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應。(-40 ~ +200℃) ? 實現了0.5mm的高重復精度。 ? 采用了防止液體的結構。

仿晶園片也能穩定檢測 增加了示教功能 防止靜電產生的誤差